GB/T 32280-2015
硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
废止
| 标准号 | GB/T 32280-2015 |
|---|---|
| 标准名称 | 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 |
| 中国标准分类号（CCS） | H21 |
| CCS分类名称 | 冶金 |
| 国际标准分类号（ICS） | 77.040 |
| ICS分类名称 | 冶金 |
| 发布日期 | 2015-12-10 |
| 实施日期 | 2017-01-01 |
| 归口部门 | 国家标准委 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |