GB/T 32189-2015
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
现行
| 标准号 | GB/T 32189-2015 |
|---|---|
| 标准名称 | 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 |
| 中国标准分类号（CCS） | H21 |
| CCS分类名称 | 冶金 |
| 国际标准分类号（ICS） | 77.040 |
| ICS分类名称 | 冶金 |
| 发布日期 | 2015-12-10 |
| 实施日期 | 2016-11-01 |
| 归口部门 | 国家标准委 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |