GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
现行
| 标准号 | GB/T 15861-2012 |
|---|---|
| 标准名称 | 离子束蚀刻机通用规范 |
| 中国标准分类号（CCS） | L97 |
| CCS分类名称 | 电子元器件与信息技术 |
| 国际标准分类号（ICS） | - |
| ICS分类名称 | - |
| 发布日期 | 2012-11-05 |
| 实施日期 | 2013-02-15 |
| 归口部门 | 工业和信息化部（电子） |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |