GB/T 14142-1993
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
废止
| 标准号 | GB/T 14142-1993 |
|---|---|
| 标准名称 | 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法 |
| 中国标准分类号（CCS） | H26 |
| CCS分类名称 | 冶金 |
| 国际标准分类号（ICS） | - |
| ICS分类名称 | - |
| 发布日期 | 1993-02-06 |
| 实施日期 | 1993-10-01 |
| 归口部门 | 国家标准委 |
| 发布单位 | 国家技术监督局 |