标准号	JB/T4081-1991
标准名称	溅射离子泵 型式与基本参数
中国标准分类号（CCS）	J78
CCS分类名称	-
国际标准分类号（ICS）	-
ICS分类名称	-
发布日期	1991-07-22
实施日期	1992-07-01
归口部门	国家机械工业局
发布单位	国家机械工业局