JB/T2965-1992
溅射离子泵 性能测试方法
现行
| 标准号 | JB/T2965-1992 |
|---|---|
| 标准名称 | 溅射离子泵 性能测试方法 |
| 中国标准分类号（CCS） | J78 |
| CCS分类名称 | - |
| 国际标准分类号（ICS） | - |
| ICS分类名称 | - |
| 发布日期 | 1992-01-01 |
| 实施日期 | 1992-01-01 |
| 归口部门 | 沈阳真空技术研究所 |
| 发布单位 | 沈阳真空技术研究所 |