单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 JB/T 10439-2004
标准介绍
单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 JB/T 10439-2004
本标 准 规 定了对TDR系列直拉法单晶炉(以下简称单晶炉)的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。
本标 准 适 用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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