半导体用透明石英玻璃器件 JC/T 181-2011 123

半导体用透明石英玻璃器件 JC/T 181-2011

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2013-10-06
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标准介绍

半导体用透明石英玻璃器件 JC/T 181-2011
本标准规定了半导体用透咀石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运辅和贮存等。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件．包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。
其他用遮的透明石英玻璃器件可参照率标准执行。

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