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扫描探针显微镜校准规范 JJF 1351-2012

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    简体中文
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  • 更新时间：
    2013-10-06
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    Win All
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标准介绍


扫描探针显微镜校准规范  JJF 1351-2012
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

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