利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 GB/T 27760-2011
标准介绍
利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 GB/T 27760-2011
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜 用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者2有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。