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硅单晶抛光试验片规范 GB/T 26065-2010

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    简体中文
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  • 更新时间：
    2013-10-05
  • 应用平台：
    Win All
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标准介绍


硅单晶抛光试验片规范  GB/T 26065-2010
本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。
本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50.8mm~300mm所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。

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