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硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 GB/T 6617-2009

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  • 更新时间：
    2013-10-05
  • 应用平台：
    Win All
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标准介绍


硅片电阻率测定 扩展电阻探针法  GB/T 6617-2009
本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量法。
本标准适用于测量晶体向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率。

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